真空度測(cè)試儀的測(cè)試原理

開(kāi)關(guān)真空度測(cè)試儀測(cè)試原理

將滅弧室兩觸頭拉開(kāi)一定的開(kāi)距，施加脈沖高壓；將滅弧室置于螺旋線圈內(nèi)或?qū)⑿滦碗姶啪€圈置于滅弧室外側(cè)，向線圈施加磁場(chǎng)電壓，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場(chǎng)。這樣在脈沖磁場(chǎng)和強(qiáng)電場(chǎng)的作用下，滅弧室中的電子作螺旋運(yùn)動(dòng)，真空度測(cè)試儀并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離，所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體的密度（即真空度值）成比例關(guān)系。對(duì)于不同型號(hào)的真空管（管型），由于其結(jié)構(gòu)不同，在同等觸頭開(kāi)距、開(kāi)關(guān)真空度測(cè)試儀同等真空度、同等電場(chǎng)與磁場(chǎng)的條件下，離子電流的大小也不相同。通過(guò)實(shí)驗(yàn)可以標(biāo)定各種管型的真空度與離子電源間的對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線。當(dāng)測(cè)知離子電流后，就可以通過(guò)查詢(xún)?cè)摴苄偷碾x子電流－真空度曲線而獲得該管型的真空度。測(cè)試電路示意圖如圖１所示。

真空度測(cè)試儀在常規(guī)磁控放電法測(cè)試滅弧室的真空度時(shí)，為了提高測(cè)試靈敏度，需從斷路器上卸下滅弧室，并置于螺旋管線圈內(nèi)。這樣一來(lái)，真空度測(cè)試儀滅弧室重新裝回?cái)嗦菲餮b置上時(shí)需要重新調(diào)整機(jī)械參數(shù)，工作量很大且需專(zhuān)業(yè)人士。使用新型磁線圈可以從側(cè)面包圍滅弧室，這樣就不必拆卸滅弧室。同時(shí)采用單片微機(jī)進(jìn)行同步控制與數(shù)據(jù)采集處理，提高了滅弧室真空度的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試靈敏度。